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为研究碱金属Li掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能，利用射频磁控溅射法（RF）在si基片上制备ZnO薄膜和Zn1-LixO薄膜，通过x射线衍射、原子力显微镜和光致发光对薄膜进行测试．研究结果表明：基片温度为450℃时，（002）峰成为薄膜的主要衍射峰；掺入碱金属Li后，薄膜表面颗粒依然均匀；Li掺杂量在5％～15％变化时，带间跃迁峰发生明显红移现象，各发光峰的强度呈抛物线形式变化．