MEMS集成化设计方法及关键技术

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yizhutingyu

【摘要】

：

针对MEMS设计的特点,在研究其设计过程和规律的基础上,提出一种MEMS集成化设计方法,该设计方法从方法论的角度探究了MEMS的最优设计问题.在集成化设计方法的基础上,研究MEMS

【作者】

：

尤国平田凌郝文涛

【机构】

：

清华大学

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2005年z1期

【关键词】

：

MEMS 设计方法三维重构宏模型

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716204)

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针对MEMS设计的特点,在研究其设计过程和规律的基础上,提出一种MEMS集成化设计方法,该设计方法从方法论的角度探究了MEMS的最优设计问题.在集成化设计方法的基础上,研究MEMS工艺版图的三维重构和面向系统级仿真的宏模型构建方法,实现了MEMS集成化设计环境,有助于建立支持集成化设计的MEMS CAD软件系统.

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