【摘 要】
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为改善光子计数成像探测器电荷感应层的性能,提高光子计数成像系统的成像质量,分别用直流磁控溅射法（DC）与射频磁控溅射法（RF）制备了不同厚度的Ge薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
【基金项目】
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空间软X射线-极紫外波段复合型望远镜技术研究（No.10878004）
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为改善光子计数成像探测器电荷感应层的性能,提高光子计数成像系统的成像质量,分别用直流磁控溅射法（DC）与射频磁控溅射法（RF）制备了不同厚度的Ge薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、表面轮廓仪、四探针表面电阻测试仪对两种方法所制备的薄膜进行了结构特征与电学性能的表征。结果表明：两种方法所制备的薄膜均为非晶态结构,DC制备的Ge薄膜比RF制备的Ge薄膜稀疏,其不同膜厚下的电阻率均大于RF所制备的薄膜。实验显示,薄膜越厚其电学性能受氧化影响越小,电学性能越稳定。实验对比了不同方阻下Ge
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