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被覆MnO2层的工艺研究
被覆MnO2层的工艺研究
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cyh_sh
【摘 要】
:
固体钽电容器的被膜工艺,包括两个主要环节,一是热分解,二是中间形成。作者针对这两个环节进行了分析和试验,不仅缩短原干式热分解繁复的工艺过程,更值得注意的是易获得质量
【作 者】
:
王训国
【机 构】
:
国营七九四厂
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
1991年1期
【关键词】
:
MnO2层
钽
电容器
热分散
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固体钽电容器的被膜工艺,包括两个主要环节,一是热分解,二是中间形成。作者针对这两个环节进行了分析和试验,不仅缩短原干式热分解繁复的工艺过程,更值得注意的是易获得质量好的MnO_2层,使产品电性能明显地得到提高。本文详细地介绍了蒸汽热分解工艺及蒸汽热分解设备的设计。
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