【摘 要】
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针对航空发动机涡轮叶片表面温度测试的迫切需求,采用薄膜沉积工艺,能够在Ni基高温合金表面制备热电性能较好的中温K型(NiCr/NiSi,<600℃)、高温R型(Pt—13%Rh/Pt,<900℃)、
【机 构】
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中国航发四川燃气涡轮研究院,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目(2017YFB0406400);广东省省部(院)产学研结合项目专项资金资助项目(2013B090400001)
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针对航空发动机涡轮叶片表面温度测试的迫切需求,采用薄膜沉积工艺,能够在Ni基高温合金表面制备热电性能较好的中温K型(NiCr/NiSi,<600℃)、高温R型(Pt—13%Rh/Pt,<900℃)、超高温(ITON/Pt,<1 100℃;In ON/ITON,> 1 200℃)等薄膜热电偶。薄膜热电偶由NiCr Al Y过渡层、热生长Al2O3层、Al2O3绝缘层、功能层和Al2O3保护层构成。通过静态标定结果分析,其塞贝克系数分别达到38. 26,10. 60,78. 60,12
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