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该文首先介绍了扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)的工作原理和国产CSPM-930型扫描探针显微镜的概况,分析了扫描隧道显微镜优点和局限性;阐述了扫描探针显微镜软件的发
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