【摘 要】
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采用磁控溅射法制备了铝含量分别为0wt%,10wt%,20wt%,30wt%的CuNi系电阻薄膜,应用透射电镜(TEM)、X光衍射仪(XRD)分析薄膜在热处理前后的晶化行为,结合X光电子能谱仪(XPS)分
【机 构】
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上海交通大学教育部高温材料及高温测试开放实验室,上海交通大学教育部高温材料及高温测试开放实
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采用磁控溅射法制备了铝含量分别为0wt%,10wt%,20wt%,30wt%的CuNi系电阻薄膜,应用透射电镜(TEM)、X光衍射仪(XRD)分析薄膜在热处理前后的晶化行为,结合X光电子能谱仪(XPS)分析了膜层表面结构组成.结果表明,当未加入铝元素时,溅射态CuNi薄膜析出孤岛状分布的CuNi晶化相;随着铝元素加入到一定量,CuNi薄膜将相继分解出链状分布的细小有序相(Cu,Ni)9Al4以及呈均匀连续状态的有序相(Cu,Ni)Al.经大气中退火处理,薄膜具有与溅射态相似的晶化相结构类型;未加入铝元素的
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