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压电徽位移器具有很高的位移分辨力和频率响应，但也存在着具有迟滞、非线性和蠕变误差的压电误差的弱点。实验表明，压电微位移器的位移－电压之间遵从一个ｎ次多项式关系，蠕变与时间之间满足对数关系。基于对压电误差的实验数据和实验曲线，文中给出了软件补偿法来提高其位移重复性。为了彻底去除压电误差，文中同时设计了反馈控制系统。