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用直流磁控溅射法分别在Si及陶瓷管上制备掺有CuO的SnO2纳米薄膜，并用马弗炉进行500℃和700℃的退火处理。利用气敏测试系统对各样品进行气敏特性测试，500℃退火的样品对几种被测气体基本都有较高的灵敏度，且随着工作温度的提升，气敏特性下降。700℃退火的样品对乙醇具有很好的选择性，表现较好的灵敏度，当最佳工作电压为6．5V时，在乙醇气体小注入条件下，对样品的测试体现了样品良好的气敏特性。