Modeling and Analysis of a Micromotor with an Electrostatically Levitated Rotor

来源 :中国机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lijincai0122

【摘要】

：

The modeling and evaluation of a prototype rotary micromotor where the annular rotor is supported electrostatically in five degrees of freedom is presented in o

【作者】

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HAN Fengtian WU Qiuping ZHANG

【机构】

：

DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology

【出处】

：

中国机械工程学报

【发表日期】

：

2009年1期

【关键词】

：

磁悬浮转子静电马达建模微电机轴承系统转子速度真空装置几何形状 electrostatic levitation electrostatic mi

【基金项目】

：

This project is supported by National Hi-tech Research and Development Program of China （863 Progrmrt, Grant No. 2008AA04Z312）, and National Natural Science Foundation of China （Grant No. 50577036）

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The modeling and evaluation of a prototype rotary micromotor where the annular rotor is supported electrostatically in five degrees of freedom is presented in order to study the behavior of this levitated micromotor and further optimize the device geometr

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