The Fabrication of 2.5 GHz SAW Filter Using ZnO/Diamond Structure

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：radeon0118

【摘要】

：

<正>Great interest in surface acoustic wave device based on diamond is attracted because diamond has the highest surface acoustic wave velocity of all substrate

【作者】

：

Xubo Wang Jingjing Chen Dongme

【机构】

：

LaboratoryofAdvancedMaterials

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

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<正>Great interest in surface acoustic wave device based on diamond is attracted because diamond has the highest surface acoustic wave velocity of all substrates.In this paper,400 nm ZnO film was deposited on polycrystalline diamond wafer by magnetro

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