【摘 要】
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大行程高精度柔性并联微定位平台的需求与日俱增.提出了一种新颖的大行程XY柔性并联微定位平台,它具有镜面对称的结构和冗余约束特性,镜像对称结构能够很好地约束了面内寄生
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程及自动化学院
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大行程高精度柔性并联微定位平台的需求与日俱增.提出了一种新颖的大行程XY柔性并联微定位平台,它具有镜面对称的结构和冗余约束特性,镜像对称结构能够很好地约束了面内寄生转角和交叉轴耦合,冗余约束在提高系统刚度的同时还降低了运动平台的质量.建立了柔性微定位平台的柔度矩阵模型,用于确定尺寸参数.最后,通过有限元模型分析,并与理论模型对比.结果显示本文所设计的柔性并联微定位平台具有如下特点：20mm×20mm的大运动行程,两运动轴之间具有较高的解耦度,很好地约束了面内寄生转角,其值小于17.76μrad.
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