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环境污染控制 ,人员劳动保护 ,技术应用 ,在高密度电子组装、精密机械制造中 ,湿法清洗工艺日渐局限 ,干法清洗的机理及应用研究日趋紧迫 ,等离子体清洗技术在干法清洗中优势明显。文章的主要内容是等离子体清洗的机理及低温等离子体技术清洗的工艺
等离子清洗技术
【摘 要】
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环境污染控制 ,人员劳动保护 ,技术应用 ,在高密度电子组装、精密机械制造中 ,湿法清洗工艺日渐局限 ,干法清洗的机理及应用研究日趋紧迫 ,等离子体清洗技术在干法清洗中优势
【机 构】
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UNDP援建中国非ODS清洗设备制造中心
【出 处】
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机电元件
【发表日期】
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2001年04期
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