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摘 要：液晶面板中有很多薄膜，其中非常重要的一种就是彩色滤光片（Color Filter；CF），其负责供给顯示器提供颜色之用，上面有RGB三色区域，也就是三原色红、绿、蓝三种颜色组成的区域，光线透过这些区域就会形成有色彩的画面。本文主要针对彩色滤光片在生产过程中产生的不良品进行原因调查，根据不同的不良状况来归纳不同的调查方法及产线良率偏低时的排查方法。
关键词：PCM（异物检查机）；Mapping（绘图）；直通率
中图分类号：TN873.93 文献标识码：A 文章编号：1004-7344（2018）32-0306-01
1 前 言
彩色滤光片占据面板材料的20%，是非常重要的部件，是显示器实现色彩的关键技术，在制作过程中需要经过六道主要制程，每道工序中都会存在产出不良基板的风险，因此查找到真因是至关重要的，它可以及时有效的避免在制品中不良品的发生，为公司及客户减少不必要的损失及其物料上的浪费。彩色滤光片不良基板调查方法简要总结如下。
2 针对产线不良NG基板的调查方法
（1）首先确定不良发生区间，比如B制程AOI检出画素划伤，第一步确定前制程是否异常，确认哪条产线生产时造成画素划伤，然后以MURA、PCM（异物检查机）、AOI为节点确认是涂布前后还是显影前后，有针对性的调查设备异常是否会产生不良缺陷。
（2）确定基板流动是否正常，是否有停留超时或者设备异常报警记录及当制程当天产线日报记录设备是否有异常动作等，比如385 ASV产品PS制程HP停留超时会造成膜面异常，清洗机EUV下基板停留超时会造成白缺，基板在Buffer上停留时间过长会有基板表面污染风险，或者设备异常宕机恢复后前几枚基板等。
（3）对于AOI检出爆点判定NG基板要确认缺陷分布Mapping是否有规律，一般TD方向爆点与显影机有关，要确认显影机是否有基板停滞现象，MD方向爆点要确认涂布是否有MURA，爆点呈对角线分布时要确认风刀是否异常（清洗机、显影机），AOI检出爆点位置固定或某个CCD镜头时系AOI误检（CCD线松动或信号线电源线干扰致），爆点无规律时要确认基板停留超时造成基板污染等。
（4）对于异物检查机检出基板表明异物判定NG基板首先要确认异物检查机是否误检（Pattern区沙漏状mark、小短线、基板边缘等），若确有异物时要据异物坐标（PCM NG list）确认AOI是否检出异常（光阻异物或碎片等）。据NG统计PS制程异物检查机检出基板表面异物判定NG基本占比较多，要确认异物产生是否在ITO过程产生，比如ITO靶材末期穿靶或Arcing（放电）等。
（5）异常基板MAPPING图与机台点位的对应关系。当发现不良基板时首先借助检测机台的AOI、macro来确认异常点的坐标，记录准确位置，利用点位对比工具进行查找问题点产出的机台对应部件，及时通知相关工程师进行检修。
3 产线不良直通率异常低的调查方法
（1）对于当制程突发缺陷首先要根据缺陷Mapping对照各设备基板接触位置，比如Y坐标是整百倍数背污一般是由显影机造成，固定位置缺陷要确认涂布机Stage对应点位是否有异物等。
（2）分析设备集中性，根据缺陷ID确认设备（HP ID、VCD ID、OVEN SLOT）是否有集中性，据缺陷ID发生频率对相应设备进行检擦或者清洁，比如PS1线ASV产品集中爆发的PS光阻残经调查HP4占比较大，对HP4禁用后良率提升可反正PS残发生于HP有关；B1线突发刮伤发生频率接近间隔60枚，检查确认port口扎带脱落造成。
（3）对于调查无规律缺陷可采取局部对比实验进行依次排除，比如G光阻残产生确定是显影机内发生，但不能确定显影机哪部分异常导致，可采取此方法进行排除后确认。
（4）如AOI检出背污，可根据AOI检出的坐标确认是何机台产生，通常整数的坐标为显影机的（显影机的ROLLER间距为200），单数的为清洗机产生（清洗机的ROLLER间距为115）。
（5）针对AOI检出光阻残留，确认光阻残产生的位置及形状判断是何机台生产，通常集中性的，线状的光阻残留为涂布机产生，此时需要清洁涂布机ROLLER及NOZZLE，如光阻残为离散性的应为显影不干净，需要清洁显影机。
（6）对于AOI检出白缺，可根据白缺的形状判断是何机台生产，通常整个画素掉落应为显影机流量过大造成，调整水洗流量后可解决，如是三角型白缺，通常为涂布机造成，此时需要对涂布机进行重新入液。
4 总 结
产线NG不良发生与产线不良直通率偏低归其原因是由设备的异常或脏污引起，所以在调查前需要熟悉各机台单元设备结构，并结合数据统计分析列出初步的怀疑对象，其后进入现场一一排查机台，找出问题点所在对症下药，而不能盲目的大范围的将机台进行维护保养，这样既浪费人力物力也不能找到根本原因，致使不良反复发生。
2018年以来，通过使用以上的调查方法，与以前对比产线能够很快地找到缺陷的发生区间、发生的机台、发生的原因，从而迅速解决，提升了产品的直通率、提高了机台的稼动率、提高了产线的产能。总而言之，产线不良NG基板及产线不良直通率异常低的调查方法需要在工作中不断的累积与总结，不断革新处理方法，使其调查更加完善，为生产提供更好服务，为公司创造更高的经济效益。
参考文献
[1]何 璇，邓振波，杨久霞，赵吉生，李 琳.彩色滤光片用光阻剂研究[J].现代显示，2008（83）：75～78.
收稿日期：2018-9-19
作者简介：丁左勇（1985-），男，江苏东台人，制造部工程师，从事TFT-LCD彩色滤光片的生产技术管理工作。
关键词：PCM（异物检查机）；Mapping（绘图）；直通率
中图分类号：TN873.93 文献标识码：A 文章编号：1004-7344（2018）32-0306-01
1 前 言
彩色滤光片占据面板材料的20%，是非常重要的部件，是显示器实现色彩的关键技术，在制作过程中需要经过六道主要制程，每道工序中都会存在产出不良基板的风险，因此查找到真因是至关重要的，它可以及时有效的避免在制品中不良品的发生，为公司及客户减少不必要的损失及其物料上的浪费。彩色滤光片不良基板调查方法简要总结如下。
2 针对产线不良NG基板的调查方法
（1）首先确定不良发生区间，比如B制程AOI检出画素划伤，第一步确定前制程是否异常，确认哪条产线生产时造成画素划伤，然后以MURA、PCM（异物检查机）、AOI为节点确认是涂布前后还是显影前后，有针对性的调查设备异常是否会产生不良缺陷。
（2）确定基板流动是否正常，是否有停留超时或者设备异常报警记录及当制程当天产线日报记录设备是否有异常动作等，比如385 ASV产品PS制程HP停留超时会造成膜面异常，清洗机EUV下基板停留超时会造成白缺，基板在Buffer上停留时间过长会有基板表面污染风险，或者设备异常宕机恢复后前几枚基板等。
（3）对于AOI检出爆点判定NG基板要确认缺陷分布Mapping是否有规律，一般TD方向爆点与显影机有关，要确认显影机是否有基板停滞现象，MD方向爆点要确认涂布是否有MURA，爆点呈对角线分布时要确认风刀是否异常（清洗机、显影机），AOI检出爆点位置固定或某个CCD镜头时系AOI误检（CCD线松动或信号线电源线干扰致），爆点无规律时要确认基板停留超时造成基板污染等。
（4）对于异物检查机检出基板表明异物判定NG基板首先要确认异物检查机是否误检（Pattern区沙漏状mark、小短线、基板边缘等），若确有异物时要据异物坐标（PCM NG list）确认AOI是否检出异常（光阻异物或碎片等）。据NG统计PS制程异物检查机检出基板表面异物判定NG基本占比较多，要确认异物产生是否在ITO过程产生，比如ITO靶材末期穿靶或Arcing（放电）等。
（5）异常基板MAPPING图与机台点位的对应关系。当发现不良基板时首先借助检测机台的AOI、macro来确认异常点的坐标，记录准确位置，利用点位对比工具进行查找问题点产出的机台对应部件，及时通知相关工程师进行检修。
3 产线不良直通率异常低的调查方法
（1）对于当制程突发缺陷首先要根据缺陷Mapping对照各设备基板接触位置，比如Y坐标是整百倍数背污一般是由显影机造成，固定位置缺陷要确认涂布机Stage对应点位是否有异物等。
（2）分析设备集中性，根据缺陷ID确认设备（HP ID、VCD ID、OVEN SLOT）是否有集中性，据缺陷ID发生频率对相应设备进行检擦或者清洁，比如PS1线ASV产品集中爆发的PS光阻残经调查HP4占比较大，对HP4禁用后良率提升可反正PS残发生于HP有关；B1线突发刮伤发生频率接近间隔60枚，检查确认port口扎带脱落造成。
（3）对于调查无规律缺陷可采取局部对比实验进行依次排除，比如G光阻残产生确定是显影机内发生，但不能确定显影机哪部分异常导致，可采取此方法进行排除后确认。
（4）如AOI检出背污，可根据AOI检出的坐标确认是何机台产生，通常整数的坐标为显影机的（显影机的ROLLER间距为200），单数的为清洗机产生（清洗机的ROLLER间距为115）。
（5）针对AOI检出光阻残留，确认光阻残产生的位置及形状判断是何机台生产，通常集中性的，线状的光阻残留为涂布机产生，此时需要清洁涂布机ROLLER及NOZZLE，如光阻残为离散性的应为显影不干净，需要清洁显影机。
（6）对于AOI检出白缺，可根据白缺的形状判断是何机台生产，通常整个画素掉落应为显影机流量过大造成，调整水洗流量后可解决，如是三角型白缺，通常为涂布机造成，此时需要对涂布机进行重新入液。
4 总 结
产线NG不良发生与产线不良直通率偏低归其原因是由设备的异常或脏污引起，所以在调查前需要熟悉各机台单元设备结构，并结合数据统计分析列出初步的怀疑对象，其后进入现场一一排查机台，找出问题点所在对症下药，而不能盲目的大范围的将机台进行维护保养，这样既浪费人力物力也不能找到根本原因，致使不良反复发生。
2018年以来，通过使用以上的调查方法，与以前对比产线能够很快地找到缺陷的发生区间、发生的机台、发生的原因，从而迅速解决，提升了产品的直通率、提高了机台的稼动率、提高了产线的产能。总而言之，产线不良NG基板及产线不良直通率异常低的调查方法需要在工作中不断的累积与总结，不断革新处理方法，使其调查更加完善，为生产提供更好服务，为公司创造更高的经济效益。
参考文献
[1]何 璇，邓振波，杨久霞，赵吉生，李 琳.彩色滤光片用光阻剂研究[J].现代显示，2008（83）：75～78.
收稿日期：2018-9-19
作者简介：丁左勇（1985-），男，江苏东台人，制造部工程师，从事TFT-LCD彩色滤光片的生产技术管理工作。