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Growth and structural properties of silicon on Ag films prepared by 40.68 MHz very-high-frequency ma
Growth and structural properties of silicon on Ag films prepared by 40.68 MHz very-high-frequency ma
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiegenda
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
Jiamin GUO
Chao YE
Xiangying WANG
Peifang YANG
Su ZHANG
【机 构】
:
College of Physics, Optoelectronics and Energy, Soochow University, Suzhou 215006, People’s Republic
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2017年7期
【关键词】
:
silicon growth
VHF magnetron sputtering
Ag film underlayer
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本文通过对荣华二采区10<
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