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对SF6电气设备故障部位快速诊断方法进行了研究。在分析了SF6电气设备发生放电故障时分解气体的组分及其检测手段的基础上，提出了SF6电气设备故障特征气体的判断依据：在SF6电气设备的分解气体测试中，当SO2和SOF2的体积分数大于10μL／L，H2S的体积分数大于5μL／L，HF的体积分数大于25μL／L时，均可判断设备存在故障的可能性。通过4例实际应用分析，说明该方法行之有效。