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当今超精密机床技术的发展趋势是:技术上不断朝着加工的极限方向发展,向更高精度、更高效率方向发展,向大型化、微型化方向发展;功能上向加工检测补偿一体化方向发展;结构上向多功能模块化方向发展;功能部件上向新原理、新方法、新材料应用方面发展,总体来讲是向极限制造技术方面发展。
超精密加工设备的发展与展望
【摘 要】
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当今超精密机床技术的发展趋势是:技术上不断朝着加工的极限方向发展,向更高精度、更高效率方向发展,向大型化、微型化方向发展;功能上向加工检测补偿一体化方向发展;结构上
【机 构】
：
北京航空精密机械研究所
【出 处】
：
航空制造技术
【发表日期】
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2008年24期
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