【摘 要】
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针对提高容栅传感器精度需要减小边缘效应问题,利用Ansoft Maxwell有限元分析软件对其电磁场模型进行仿真,通过对容栅传感器的极板间距、栅极对数、栅极厚度这3个参数进行仿
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针对提高容栅传感器精度需要减小边缘效应问题,利用Ansoft Maxwell有限元分析软件对其电磁场模型进行仿真,通过对容栅传感器的极板间距、栅极对数、栅极厚度这3个参数进行仿真,得到对应的电容值,并对这个电容值的大小和趋向进行分析,为传感器选择最优参数提供依据。仿真结果表明：容栅传感器受边缘效应影响且影响不可忽略,通过减小极板间距和极板厚度、控制栅极对数可以减小边缘效应的影响,对于提高容栅传感器精度具有重要意义。
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