论文部分内容阅读
LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验，获得了其应力一应变曲线，通过数据处理和分析，获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限，并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比，两者有较好的一致性。
基于LIGA工艺的电铸镍材料特性
【摘 要】
：
LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验，获得了其应力一应变曲线，通过数据处理和分析，获得了LIGA电铸镍的弹性
【机 构】
：
中国科学院电工研究所微纳加工技术部,北京理工大学机电工程与控制国家重点实验室
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
2010年3期
其他文献
以交替真空溅射的方法使用成分分别为MnFe2O4与ZnFe2O4的双靶制备了成分变化的系列Mn1-xZnxFe2O4铁氧体薄膜，衬底为Si（100）。薄膜的成分通过控制不同靶的溅射时间来进行调整。沉
《煤矿供电技术》课程是矿山机电专业的核心专业课程，按照专业人才培养方案的要求，该课程是理论实践一体的具有很强的应用性、实践性要求的课程。通过多年的教学，对本课程的教学
传统机械密码鉴别器结构复杂,可动件多,体积较大,对加工工艺和装配要求很高。提出一种便于扁平化和微型化的新型QQ机械密码鉴别器设计思想,包括微型机械迷宫、微型执行器、微
分析了基于拉曼散射温度传感系统的三种温度解调方式，选择了利于研究体表温度场变化特点，利用拉曼散射比值来解调温度信息的系统结构，设计了基于分布式光纤传感器的人体测温系统
资源短缺已成为制约我国经济发展的重要因素，实现找矿突破，缓解资源危机，提高资源保障能力，是国有地勘单位义不容辞的神圣职责，也是当前地质工作的核心任务和第一要务。本文对地勘
伴随着晋煤集团锐意改革的发展大局，治保工作的好坏直接决定着企业的安全稳定，影响着企业的健康发展。在增大技防设施投入的同时，保卫队伍要加强学习，掌握必要技能；要坚持原则，建立
《规划纲要》颁布后明确提出“办好开放大学”，围家有关部门以及专家、学者都在思考创办开放大学的基础性建设问题——“如何办”和“如何办好”——这对广播电视大学的发展、
在当前高校就业严峻的条件下，数学专业的学生要想实现顺利就业，提高其就业指导率，就必须努力提高其综合素质。笔者在此结合自己的实践经验，就数学专业学生综合素质的提高提出以下
对微波活化处理废触媒制备的活性炭进行了微结构分析,发现活性炭具有孔隙发达,微孔贯穿性好的结构,孔隙中负载了少量的具有催化作用的氧化锌。采用光离子化气相色谱法测定了2
碳纳米管（carbon nanotubes,CNTs）是一种新型纳米材料,具有特殊的纳米结构,在生物医学领域显示出诱人的潜在应用价值和前景,正逐步引起越来越多研究者的关注。功能化碳纳米管（f-