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以正硅酸乙酯（TEOS）为硅源，采用溶胶-凝胶技术，通过两步酸法控制实验条件引入有机硅烷甲基三乙氧基硅烷（MTES）和表面活性剂十六烷基三甲基溴化氨（CTAB），制备了疏水型SiO2前驱体溶胶。以旋涂法成膜出SiO2～MTES-CTAB纳米疏水薄膜，研究了正硅酸乙酯与甲基三乙氧基硅烷不同的混合比以及不同的热处理温度等对纳米疏水薄膜的影响，并且分析了纳米疏水薄膜的表面形态。研究表明，利用有机基团甲基三乙氧基硅烷改性SiOz溶胶和薄膜的热处理温度对制备的SiO2基纳米疏水薄膜的性能以及表面形态都具有非常重要的