【摘 要】
：
用增强化学腐蚀法研究了低剂量SIMOX－SOI材料表层硅质量与实验参数的关系，结果表明，注入剂量的能量对表层硅质量有明显影响，通过对注入剂量和能量的优化，表层硅线缺陷密度可低于10
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,中国科学院上海冶金研究所离子束?
【基金项目】
：
国家自然科学基金委员会国家杰出青年基金资助项目 (批准号 :5 992 5 2 0 5)
论文部分内容阅读
用增强化学腐蚀法研究了低剂量SIMOX－SOI材料表层硅质量与实验参数的关系，结果表明，注入剂量的能量对表层硅质量有明显影响，通过对注入剂量和能量的优化，表层硅线缺陷密度可低于10^4cm^-2,在注入能量为160keV时，获得低线缺陷密度对应的注入剂量为5．5×10617cm^-2左右，当注入剂量为4．5×10^17cm^-2，获得低线缺陷密度对应的注入能量为130keV.
其他文献
在建筑工程的建设过程中,多数项目离不开钢筋混凝土结构.然而钢筋混凝土中钢筋腐蚀现象普遍的存在,因此工程项目质量管理需要对这一问题进行分析与防范.钢筋混凝土腐蚀是引起
市政工程在一个城市处于一个核心的位置,市政工程的各个方面都有着良好的基础.在我国现如今社会对市政工程的建设都十分关注,但是尽管市政工程有着物质基础和平稳的发展,但是
房建工程作为一项重要的工程，需要保证其旖工的质量。后浇筑是房建工程中的一道工序，它对房屋的质量、使用寿命、安全性等都有很大关系，需要提高房建工程中后浇带的施工水平，以保
随着改革开放以来,我国的经济发展日益迅速。我国也在朝着工业化的方向发展。,同样这个过程也是我国的一个转折的过程。然而在这个过程之中必然会推动城市化的进程,随着城市
高层建筑的筏板基础施工有着严格的施工要求,它具有承载、前期沉降、防水等功能。高楼平地起,基础是第一,在施工过程中应该防范的问题比比皆是。放大脚处的后浇带施工就是一
5月的大兴安岭,草木蔓发,春山可望。从开发利用到全面保护发展,从全面停伐到吹响生态保护建设的号角……在生态为本、保护优先的前提下,内蒙古大兴安岭立足资源富集优势,致力
翻开共和国和内蒙古自治区的历史记忆,林区的发展与改革无疑是其中火热而壮丽的一章。中国森林面积最大的省份是内蒙古,内蒙古最大的一片森林在大兴安岭,它宛如巍峨的绿色长
时代的进步,人们对传统二氧化碳气体焊接工艺进行了改进,Ar-CO2混合气体保护焊接技术应运而生,虽然实践中具有显著效果,但是推广度不足。传统的二氧化碳保护焊接,虽然效率高
烟草卷烟物流配送中心承担着卷烟物品的集散、中转、运输等功能,配送中心形成不同的功能分区,对此需要对其结构进行科学地设计。文章以广东省江门市中心某烟草物流配送中心为
在小学德育教育开展过程中,要以学生为主,不断尝试采用有效的教育模式,从而提升德育教育水平。本文基于有效研究,重点分析了小学德育生活化教学过程存在的问题与对策,希望通