【摘 要】
：
采用1/4规整膜系,从电场强度、吸收损耗及散射损耗的分布几个方面,对影响193 nm反射膜性能的因素进行了分析。以分析结果为基础,对低损耗193 nm反射膜的设计进行了探讨。结果
【机 构】
：
华东理工大学机械与动力工程学院承压系统安全科学教育部重点实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所上海
论文部分内容阅读
采用1/4规整膜系,从电场强度、吸收损耗及散射损耗的分布几个方面,对影响193 nm反射膜性能的因素进行了分析。以分析结果为基础,对低损耗193 nm反射膜的设计进行了探讨。结果表明:在空气侧的外膜层中电场强度较大,随着层数向内过渡,电场强度迅速减小;高折射率材料膜层的吸收损耗明显高于低折射率材料膜层的吸收损耗,而且靠近空气侧最外层的高折射率膜层的吸收损耗最大;按由外层向内层过渡的方向,吸收损耗迅速减小,减小的速度与高低折射率材料折射率的比值相关;表面散射损耗与两种材料的折射率比值成正比,但折射率比值减小后只能通过增加膜层数来获得一定的反射率,而这样又会使表面粗糙度增加,并且引入其它的损耗。因此,选择折射率差值适当大一些的材料对降低散射损耗是有利的。设计了27层膜堆的193 nm反射膜,设计反射率在98%以上。
其他文献
研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台,建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿x、y方向刚度及前二阶固有频率解析式。进行了微定位
临床资料例１，女，６６岁，因腹痛待查行小肠气钡造影。检查中肌注丁溴东莨菪碱２０ｍｇ，３０ｍｉｎ后患者出现认知模糊，定向力障碍，谵妄等精神症状，但生命体征平稳。即中止检查，经输液等对症处理８ｈ后患者恢复正常
21世纪,环境、资源和人口成了人类可持续发展的重要内容。而在日益发展的现代文明下,环境问题益发突显,也引发了全球对环境问题的关注和重视,这成了一个世界性的潮流趋势。在
通过大量施工实践得知,相比于普通项目施工而言,石油天然气管道施工往往施工难度更大,安全风险较多,一旦某一个环节出现问题则会诱发管道安全事故,影响天然气的输送。鉴于此,
<正>In 2016,the world economy continued to be bleak with diverging trends between developed countries and emerging markets.Populism cropped up featuring anti-es
基于非结构网格有限体积法海岸和海洋模型（FVCOM）建立水动力数值模型,模型计算结果与实测结果吻合良好,较好地模拟了象山港海区水动力环境特点。在此基础上,建立了污染物输运模
重业务、轻财务的企业随处可见,但企业的发展不仅需要加大业务拓展,同时也需要财务时刻保驾护航。企业成功的关键在于财务与经营协调发展,利用财务分析促进企业管理,就显得非
目前污水处理的研究热点之一,是在保证出水水质的前提下,实现节能减排。本文结合碳源和空气的供给条件,取得如下成果：(1)碳源的种类和数量的差异会对处理结果产生的影响。在缺
旁通阀是涡轮增压发动机中不可缺少的部件之一,涡轮增压器在高负荷工况下能够长期稳定工作,旁通阀起着至关重要的作用。介绍一种涡轮增压器旁通阀气密性检测的气路设计,基于P
介绍了液体火箭发动机电动泵增压系统的发展历程以及电动泵系统核心组件的特点,提出了考虑离心泵效率及电源系统放电特性变化的电动泵系统质量模型。电动泵系统中质量占比最