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根据惯性约束聚变系统技术要求，提出了镀膜减反方案，以解决现有光栅由于元件表面反射影响零级透过率的问题。使用严格耦合波理论分析了镀sol-gel减反膜的取样光栅特性，详细地分析了仿形膜和平面膜的减反情况和取样效率的变化。结果发现，镀平面膜是一种可行的技术方案，光栅表面反射几乎完全消除，表可以通过取样光栅镀膜减反来达到提高透射率的目的；裸光栅的深度为12nm时，平面减反膜厚为60nm，即光学厚度为等效1／4波长：72m。此时的透射率为99．8％，取样效率为0．241‰。