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减薄膜厚有利于提高PtSi红外探测器的量子效率.本文研究了膜厚减薄工艺对薄膜连续性的影响,用XRD观察物相,SEM、TEM研究薄膜连续性,并给出理论解释.实验表明用混合生长(S-K)模式能形成超薄连续薄膜.
PtSi薄膜超薄化及连续性研究
【摘 要】
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减薄膜厚有利于提高PtSi红外探测器的量子效率.本文研究了膜厚减薄工艺对薄膜连续性的影响,用XRD观察物相,SEM、TEM研究薄膜连续性,并给出理论解释.实验表明用混合生长(S-K)
【机 构】
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电子科技大学信息材料工程学院,成都,610054重庆光电技术研究所,重庆,400061;材料工程研究院,新加坡,119260;
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2004年期
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