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<正>互连工艺中第一次采用CMP是在Al互连中的钨塞(W Plug)的平坦化工艺中。主要原因是采用非选择性的WCVD工艺能够有效填充
铜互连工艺中的CMP制程
【摘 要】
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<正>互连工艺中第一次采用CMP是在Al互连中的钨塞(W Plug)的平坦化工艺中。主要原因是采用非选择性的WCVD工艺能够有效填充
【机 构】
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AppliedMaterialsChina
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年06期
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