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超精密加工技术是机械制造业中最重要的部分,基于压电陶瓷的微位移机构是近年来发展起来的一种新型微位移机构,设计了基于压电陶瓷为驱动的,以弹性铰链为支撑的微进给平台。并进行了大量的试验,从中得出适于应用的线性电压-位移曲线。采用不同的升降压步长对平台进行驱动,改善了电压-位移的迟滞度。
基于压电陶瓷的微进给平台的实验研究
【摘 要】
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超精密加工技术是机械制造业中最重要的部分,基于压电陶瓷的微位移机构是近年来发展起来的一种新型微位移机构,设计了基于压电陶瓷为驱动的,以弹性铰链为支撑的微进给平台。
【机 构】
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河北工业大学
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
：
2010年07期
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