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本文提供了一种真空溅射法生产纳米粉体的制造方法以及收集方法,该方法对普通溅射机稍加改造,即可完成纳米粉体制备,结构简单上马快,适应于中小量多品种研究单位使用。
纳米粉体材料的制备收集和相应设备改造
【摘 要】
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本文提供了一种真空溅射法生产纳米粉体的制造方法以及收集方法,该方法对普通溅射机稍加改造,即可完成纳米粉体制备,结构简单上马快,适应于中小量多品种研究单位使用。
【机 构】
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山东省机械设计研究院
【出 处】
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内燃机与配件
【发表日期】
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2019年12期
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