【摘 要】
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介绍用正弦波光栅传感器测量位移的、测量电路原理、结构和功能模块的电路设计。测量电路采用高速A/ D 转换并进行数值计算的方法实现位移的测量, 具有高速、高精度、高分辨力的
【机 构】
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介绍用正弦波光栅传感器测量位移的、测量电路原理、结构和功能模块的电路设计。测量电路采用高速A/ D 转换并进行数值计算的方法实现位移的测量, 具有高速、高精度、高分辨力的特点, 适用于精密位移检测和精密位置控制系统。
Introducing the sine wave grating sensor to measure displacement, measuring circuit principle, structure and function of the circuit design of the module. Measurement circuit using high-speed A / D conversion and numerical methods to achieve displacement measurement, with high speed, high precision, high resolution, suitable for precision displacement detection and precision position control system.
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