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浅谈半导体制造中的缺陷
浅谈半导体制造中的缺陷
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiao0mai
【摘 要】
:
缺陷,是各种生产制造过程中不可避免的质量问题。在半导体生产制造中,产品的设计、原材料、生产硬件、人为操作等的不合理均能导致缺陷产生。本篇将简单阐述半导体生产制造中
【作 者】
:
刘青
同小锦
【机 构】
:
西安卫光科技有限公司
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2014年23期
【关键词】
:
缺陷管理
缺陷监测
缺陷种类
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缺陷,是各种生产制造过程中不可避免的质量问题。在半导体生产制造中,产品的设计、原材料、生产硬件、人为操作等的不合理均能导致缺陷产生。本篇将简单阐述半导体生产制造中的缺陷。
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