论文部分内容阅读
用朗缪尔探针诊断了反应室内的等离子体密度,研究了CCl2F2等离子体对InSb-In薄膜的刻蚀,结果表明该实验装置能够产生高密度等离子体,在刻蚀样品表面等离子体密度达到6.7170×1010cm-3,CCl2F2等离子体能有效地对InSb-In薄膜进行刻蚀.
CCl2F2等离子体干法刻蚀InSb—In薄膜的研究
【摘 要】
：
用朗缪尔探针诊断了反应室内的等离子体密度,研究了CCl2F2等离子体对InSb-In薄膜的刻蚀,结果表明该实验装置能够产生高密度等离子体,在刻蚀样品表面等离子体密度达到6.7170&#
【机 构】
：
华南师范大学,华南师范大学
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
2003年4期
其他文献
黄克诚1902年10月1日出生于永兴县下青村，1925年加入中国共产党，1955年被授予大将军衔，1986年在北京逝世，享年84岁。60多年的革命生涯里，他参加了北伐战争、红军长征、抗日战争和解放战争，是久经考验的共产主义战士，中国共产党和人民军队卓越的领导人，杰出的无产阶级革命家、军事家。纵观黄克诚一生，对党忠诚、一心为民、清正廉洁、铁面无私的风范熠熠生辉。永兴，作为黄克诚大将的故乡，坚持以习近
根据红外热成像原理,提出了基于红外热成像的微波加热特性研究方法.以乙醇、食盐水、蒸馏水为实验材料,分别研究不同微波输出功率和不同液体对微波吸收功率和微波穿透深度特
基于乙炔气体的光谱吸收特性,提出了一种带有参考通道的光纤乙炔气体在线实时检测系统。为了消除被测气体以外的其它随机因素的影响,在设计过程中采用了双光源、双光路、双气室结构。论述了运用双波长补偿法来克服系统中存在的光路扰动、解决系统不稳定问题、提高测量准确度的原理。给出了该光纤乙炔气体测量系统的实验结果。
介绍了差动式磁电速度传感器的工作原理,分析比较了该传感器与传统的同类产品的不同,具有性能更可靠、工作更稳定、传感更灵敏等特点.