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介绍了国内外薄膜太阳电池工业化生产的现状，分析了瑞士欧瑞康（Oerlikon）太阳电池公司的硅基薄膜太阳电池模块生产工艺和设备，总结等离子增强化学气相沉积的物理化学过程。通过非晶硅／微晶硅叠层太阳电池的SEM图和Ｉ-Ｖ特性，揭示出叠层太阳电池实现高效、高稳定、低成本的原因；并归纳出硅基薄膜太阳电池性能的研究热点及提高转换效率的核心技术。