外延生长YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的TEM和SEM研究

来源 :中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学) | 被引量 : 1次 | 上传用户:blueteen
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本文利用高分辨率透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)对高J_c外延生长YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的微观结构进行了观察分析.研究发现,薄膜外延程度的好坏与生长工艺和衬底表面的完整性有直接的关系.实验结果表明(100)SrTiO_3单晶衬底上外延生长YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜中影响临界电流密度J_c的因素主要有界面过渡区、缺陷和不同的外延取代等.
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