【摘 要】
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本文主要介绍了采用超导约瑟夫森结实现的超导微波源的基本原理及实现方法。文中我们通过电路仿真得到了输入为直流信号,输出为幅值可调的4.2GHz微波信号,然后根据相应仿真参
【机 构】
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清华大学微电子学研究所清华信息科学与技术国家实验室(筹),
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本文主要介绍了采用超导约瑟夫森结实现的超导微波源的基本原理及实现方法。文中我们通过电路仿真得到了输入为直流信号,输出为幅值可调的4.2GHz微波信号,然后根据相应仿真参数绘制了芯片版图,并对实验室原有的自对准剥离工艺进行了改进,完成了超导微波振荡器的制备,为将来利用超导材料实现具有实用价值的太赫兹源奠定了理论以及实验研究基础。
This paper mainly introduces the basic principle and implementation method of superconducting microwave source using superconducting Josephson junction. In this paper, we have got the input of DC signal through the circuit simulation, the output is 4.2GHz microwave signal with adjustable amplitude, and then draw the chip layout according to the corresponding simulation parameters, and improve the original self- The preparation of the superconducting microwave oscillator is completed, which lays a theoretical and experimental foundation for the practical application of superconducting materials in the future.
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