镀Al膜空芯玻璃微球人工介质材料的制备及其介电性能

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采用直流磁控溅射法在空芯玻璃微球表面镀Al膜,将空芯玻璃微球、镀Al膜玻璃微球和高分子粘合剂按一定比例混合制成人工介质材料。用波导法测量人工介质材料的介电常数,并采用有效媒质理论对测试结果进行分析。结果表明,在8~12 GHz频率范围内,人工介质材料的介电常数随镀Al膜玻璃微球含量的增加而增加,其介电常数在2~5范围内可调。再经热处理工艺优化,人工介质材料的介电损耗正切值可降至0.015以下。
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