State-of-the-art Technologies and Kinematical Analysis for One-Stop Finishing of φ300 mm Si Wafer

来源 :厦门大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：xinxinrenren

【摘要】

：

This research has successfully developed an advance d manufacturing system for 300mm silicon wafer,using fixed abrasive instead o f conventional free slurry,to

【作者】

：

Hiroshi EDA Jun SHIMIZU

【机构】

：

DepartmentofSystemEngineeringIbarakiUniversityIbarakiUniversityJapanJapan

【出处】

：

厦门大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2002年S1期

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This research has successfully developed an advance d manufacturing system for 300mm silicon wafer,using fixed abrasive instead o f conventional free slurry,to provide a totally integrated solution for achievi ng the surface roughness Ra<1 nm(Ry<5～6

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