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白光干涉术测量表面形貌，解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域算法，具有受噪声影响小、计算精度高的优点。运用这一算法通过Mirau扫描干涉显微镜对台阶状样品表面进行了两次白光扫描测试，得出了台阶表面形貌结果，且两次测量的台阶高度相差不超过1 nm。同时，利用Zygo Newview 7200白光形貌仪对同一样品表面进行了测试对比，结果表明：两者得到的样品表面形貌一致，台阶高度相差0.9 nm。此外，实验数据处理的结果还表明：运用空间频域算法进行分析时二阶以上的色散完全可以忽略