应用微波技术实现纳米精度微光学对准和实时粘合

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本文讨论纳米精确度光学对准技术,以用于采用热固化树脂的微光学包装。为了达到一个快速固化过程,直接将微波能量作用于需要进行光学粘合的地方。然而常规微波加热技术,依赖于树脂和元件之间的高质量比。为了改进微光学包装中微量粘合剂的热吸收率,我们先将接合面抛光,再镀上金属薄层。这样一来,微波能量将被镀层快速吸收。为防止接合面过热,采用一个红外(IR)温度传感器,以监测粘合剂的温度。根据温度的高低,一个自动化的系统则可以调整微波的功率输出,以便达到相对恒定的固化温度。在快速固化过程中,预先调准好的微光系统,如光纤耦合
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