【摘 要】
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从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AIN陶瓷基板展开了较为系统的研究，结果表明，颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量，适于AIN流延成型
【基金项目】
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国家自然科学基金项目!（69836030）,,中国科学院无机功能材料开放实验室基金资助
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从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AIN陶瓷基板展开了较为系统的研究，结果表明，颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量，适于AIN流延成型的浆料流体类型属于假塑性流体，保持一定的溶剂气氛有利于获得表面平整光滑的流延素坯膜，二次排胶有利于排除AIN流延素坯膜中的残余碳，烧结后基板的断口SEM照片表明晶粒发育较为完善，无明显开气孔，断裂模式为沿晶断裂。
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