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多层膜反射镜在倾斜入射时,两个偏振分量会产生不同的相移。因此,可用计算机优化设计出特定相位差的膜系。本文的目的是设计90°相位膜,它的作用就象四分之一波片。与传统的波片相比,它的优点是可以适用于任何波长,具有高的相位差精度和大的孔径。文中提出了两种设计方法并报告了制备技术及实验结果。
薄膜四分之一波片的设计和制备
【摘 要】
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多层膜反射镜在倾斜入射时,两个偏振分量会产生不同的相移。因此,可用计算机优化设计出特定相位差的膜系。本文的目的是设计90°相位膜,它的作用就象四分之一波片。与传
【机 构】
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浙江大学,浙江大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1985年1期
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