物理气相淀积成膜的计算机模拟

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运用蒙特卡罗方法,模拟了不同条件下的物理气相淀积薄膜生长过程,在40×40个原子的简单立方单晶(100)面上,模拟计算了不同条件下所成简单立方单晶薄膜的生长情况,得出了覆盖率、成膜速率、稳定性与基体温度、蒸气压强的关系。模拟计算结果与理论和实验一致。
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