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原子层沉积(ALD)是通过将气相前驱体以交替脉冲形式通入反应室并在沉积基体表面发生气固相化学吸附反应形成薄膜的一种方法。本文概述了该方法的原理、特点、应用,以及其在粉体材料表面改性和材料合成中的应用。
原子层沉积技术及其在粉体材料领域的应用研究综述
【摘 要】
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原子层沉积(ALD)是通过将气相前驱体以交替脉冲形式通入反应室并在沉积基体表面发生气固相化学吸附反应形成薄膜的一种方法。本文概述了该方法的原理、特点、应用,以及其在粉体材料表面改性和材料合成中的应用。
【出 处】
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中国粉体工业
【发表日期】
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2021年4期
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