【摘要】详细介绍了低真空扫描电子显微镜的发展及其在质檢和计量等工作中的应用情况，并对国家泵类产品质量监督检验中心引进的德国蔡司EVO 18型扫描电子显微镜的放大倍率进行了校正，结果表明，其放大倍率的误差小于0.5%，在质检及计量等工作中将发挥重大的作用。
　　【关键词】低真空扫描电镜；国家泵类产品质量监督检验中心；质检；计量