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多弧离子镀技术中的关键部件是蒸发源,蒸发源的电弧放电特性受磁场的严格控制。本文对真空电弧等离子体在磁场中的受力进行了分析,研究了磁场对电弧运动的影响规律。
多弧离子镀中磁场对电弧运动影响的研究
【摘 要】
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多弧离子镀技术中的关键部件是蒸发源,蒸发源的电弧放电特性受磁场的严格控制。本文对真空电弧等离子体在磁场中的受力进行了分析,研究了磁场对电弧运动的影响规律。
【机 构】
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北京联合大学机械工程学院,北京电炉厂,东北工学院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1991年03期
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