纳米级FeNi粉体/SiR薄膜的制备及力敏特性研究

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以60-100nm 的FeNi粉体为应力敏感元、硅橡胶为柔性基体,压制成型了粉体分布均匀、粉体含量30.6%(质量分数)、厚度200μm 的薄膜,在连续加载/卸载速度为0.1mm/min、测试频率1kHz条件下,研究了正应力和综合应力两种受力条件下薄膜的力敏特性.研究结果表明,通过过渡溶剂液相混合方法可实现纳米级FeNi粉体在薄膜中均匀分布;在正应力条件下,加载过程中σ〈0.2 MPa时,薄膜的灵敏精度|k|值〉50,当σ 为0.2-0.4MPa,|k|值介于37-49之间,薄膜对〈0.2MPa的正应力敏
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