MISiC肖特基二极管式气体传感器响应特性分析

来源 :华中科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：sabot

【摘要】

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分析了金属-绝缘体-SiC (MISiC) 结构肖特基二极管(SBD)气体传感器敏感机理,通过将热电子发射理论与隧道理论结合,建立了器件物理模型.模拟结果表明,响应特性与金属电极类型

【作者】

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钟德刚徐静平黎沛涛于军

【机构】

：

华中科技大学电子科学与技术系,香港大学电机电子工程系

【出处】

：

华中科技大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

MISiC 肖特基二极管式气体传感器响应特性敏感机理金属-绝缘体-碳化硅结构 I-V特性 MISiC gas sensors Schottky diode

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分析了金属-绝缘体-SiC (MISiC) 结构肖特基二极管(SBD)气体传感器敏感机理,通过将热电子发射理论与隧道理论结合,建立了器件物理模型.模拟结果表明,响应特性与金属电极类型、绝缘层厚度、气体吸收效率和温度有关.模拟结果与实验符合较好.通过模拟,得到MISiC结构最佳绝缘层(SiO2)厚度应为1 nm左右.

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