金刚石镶嵌非晶碳膜表面形貌对场致电子发射的影响

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用微波等离子体化学气相沉积设备,在经过不同研磨预处理的金属钼衬底上沉积出屯表面形貌有较大差异的金刚石镶嵌非晶碳膜,分别用扫描电子显微镜(SEM),金相显微镜和X射线衍射谱(XRD)以及Raman光谱对样品进行了分析测试,研究了各种样品的场致电子发射特性,结果发现薄膜表面由大量镶嵌有金刚石小晶粒的非晶碳球相组成,在我们的实验范围内,薄膜表面非晶碳球尺寸越小,场致电子发射效果越好。
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