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由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列（FPA）是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术，通过对双金属悬臂梁应力和应变的分析，阐述了影响微悬臂梁热机械性能的主要因素，为正确选择微悬臂梁结构的材质提供理论依据。
微悬臂梁的热机械性能分析及选材
【摘 要】
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由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列（FPA）是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术，通过对双金属悬臂梁应力和应变的分析，阐述了影响微悬臂梁热机械性能的主要因
【机 构】
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扬州市职业大学招生办,扬州市职业大学机械工程系
【出 处】
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兰州石化职业技术学院学报
【发表日期】
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2007年1期
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