论文部分内容阅读
设计与研制了一种激光核聚变靶球的微型４π搓动装置，其整体外形尺为２９ｍｍ×２４ｍｍ×１４ｍｍ，机芯尺寸为２０ｍｍ×１６ｍｍ×１０ｍｍ，对φ２００μｍ的靶微球搓动精度为，绕Ｚ轴旋转角ψ的精度７．５°／每分度，绕Ｙ轴旋转角θ的精度１．４５°／每分度，它可方便灵活地进行靶球４π立体角的搓动来任意选择测试点，该装置不仅符合原子力显微镜（ＡＦＭ）等表面分析仪器对靶微球表面光洁度与显微形貌的观察，测试的要求，