论文部分内容阅读
本文概述了在ＩＣ制造中，半导体片子清洗的重要性、发展历史和现状。对湿法清洗与干法清洗进行比较，并着重介绍清洗技术和设备的发展趋势。
半导体片子清洗技术及设备
【摘 要】
：
本文概述了在ＩＣ制造中，半导体片子清洗的重要性、发展历史和现状。对湿法清洗与干法清洗进行比较，并着重介绍清洗技术和设备的发展趋势。
【机 构】
：
电子工业部第13研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
1996年04期
其他文献
本文论述了企业实施药品生产质量管理（GMP）认证的作用，同时提出了企业通过认证后还需要做好以下工作：加强原材料的质量控制、规范生产现场管理、强化员工职业技能培训、优化药品
傅立叶描述子是分析和识别物体形状的重要方法之一.基于雷达图表示多维数据的原理,提出了一种利用傅立叶描述子识别雷达图形的可视化数据分类新方法.该方法采用多元统计中的
《关于加强和改进新形势下高校思想政治工作的意见》提出了要增强思想政治理论课教学的吸引力、说服力、感染力的问题。为了加强思想政治理论课的时效性,就必须提高其吸引力
目前煤炭资源开采历史的增加和开采强度的加大,赋存条件好的煤层逐渐减少。随着矿井生产水平不断往深部延伸,地层深处地质条件由简单到复杂,断层构造越来越多,矿井地压也显著
铁路建设标准国际化作为"一带一路"互联互通建设的实施保证是十分值得探讨的问题。本文详细分析了"一带一路"铁路建设的标准需求,从我国与沿线国家铁路标准体系差异和我国标
良好的阅读习惯能够让人受益一生,在幼儿园教学中阅读习惯的培养是一项非常重要的内容。幼儿教师应当充分认识到阅读的重要性,注重培养幼儿良好的阅读习惯。要营造良好的阅读
通识教育是许多发达国家对大学生进行思想政治教育的重要途径。我国高校已将思政课列为大学生的通识教育课程之一,但在实际教学过程中却与通识教育的目标要求呈现出"两张皮"