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阴极真空弧沉积中靶室第二阳极作用对系统性能的影响
阴极真空弧沉积中靶室第二阳极作用对系统性能的影响
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:niuniuplayplay
【摘 要】
:
介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴
【作 者】
:
王广甫
张荟星
【机 构】
:
北京师范大学测试中心,北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
阴极真空弧沉积
靶室
第二阳极作用
MEVVA等离子体源
薄膜
制备
Vacuum arc deposition
MEVVA plasma source
Sec
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介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显.因此可以加较高的聚焦磁场,从而获得流强较高和较稳定的沉积等离子体束.
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